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无规共聚物、包含该共聚物的涂覆组合物及抗蚀剂组合物制造技术
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下载无规共聚物、包含该共聚物的涂覆组合物及抗蚀剂组合物的技术资料
文档序号:45431337
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本发明提供一种具有流平性及再涂性的、作为有机硅系流平剂发挥功能的共聚物。具体而言,一种无规共聚物,其包含:源自聚合性单体(a1)的结构单元A,所述聚合性单体(a1)具有‑Si[OSi(R)3]n[R’]3‑n所示的官能团及(甲基)丙烯酰基;...
该专利属于DIC株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过DIC株式会社授权不得商用。
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