无规共聚物、包含该共聚物的涂覆组合物及抗蚀剂组合物制造技术

本发明专利技术提供一种具有流平性及再涂性的、作为有机硅系流平剂发挥功能的共聚物。具体而言，一种无规共聚物，其包含：源自聚合性单体(a1)的结构单元A，所述聚合性单体(a1)具有‑Si[OSi(R)3]n[R’]3‑n所示的官能团及(甲基)丙烯酰基；以及源自聚合性单体(a2)的结构单元B，所述聚合性单体(a2)具有选自碳原子数1～18的烷基、碳原子数6～18的芳香族基及含聚氧亚烷基链的基团中的一种以上，相对于结构单元A与结构单元B的合计，结构单元A的含有率为50质量％～80质量％，且所述无规共聚物的重均分子量(Mw)为10,000以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及无规共聚物、包含该共聚物的涂覆组合物及抗蚀剂组合物。

技术介绍

1、流平剂是为了使涂覆涂料组合物、抗蚀剂组合物等涂覆组合物而得到的涂膜平滑化而添加的。具体而言，通过向涂覆组合物中添加流平剂，流平剂会在涂膜表面取向，从而使涂膜的表面张力降低，得到使所得涂膜平滑化的作用。在表面经平滑化的涂膜中，可改善缩孔或不均的产生。

2、流平剂例如被用于汽车用涂料中，包含流平剂的涂料组合物能够赋予所得的涂膜表面较高的平滑性，能够使汽车外观具有光泽。

3、作为用于汽车用涂料中的流平剂，提出了有机硅系流平剂(专利文献1)。

4、流平剂的用途多种多样，例如也可以被用于液晶显示器用的彩色滤光片的制作中所使用的彩色抗蚀剂组合物。彩色滤光片的制造一般包括如下工序：在玻璃基板上通过旋涂、狭缝涂布等涂布方法来涂布彩色抗蚀剂组合物，使用掩膜对干燥后的涂膜进行曝光，其次进行显影而形成着色图案。此时，在涂膜的平滑性不佳、膜厚存在不均的情况、或者存在涂布不均、缩孔等的情况下，有可能发生像素的颜色不均。

5、通过将流平剂添加到彩色抗蚀剂组本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种无规共聚物，其包含：

2.根据权利要求1所述的无规共聚物，其是使所述聚合性单体(a1)与所述聚合性单体(a2)进行自由基聚合而得到的。

3.根据权利要求1或2所述的无规共聚物，其中，相对于所述无规共聚物，所述结构单元A的-Si[OSi(R)3]n[R’]3-n基的含有率多于30质量％且为60质量％以下。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的无规共聚物，其中，所述聚合性单体(a1)为下述式(a1-1)所示的化合物，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的无规共聚物，其中，所述-Si[OSi(R)3]n[R’]3-n所示的官能团为-Si[...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种无规共聚物，其包含：

2.根据权利要求1所述的无规共聚物，其是使所述聚合性单体(a1)与所述聚合性单体(a2)进行自由基聚合而得到的。

3.根据权利要求1或2所述的无规共聚物，其中，相对于所述无规共聚物，所述结构单元a的-si[osi(r)3]n[r’]3-n基的含有率多于30质量％且为60质量％以下。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的无规共聚物，其中，所述聚合性单体(a1)为下述式(a1-1)所示的化合物，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的无规共聚物，其中，所述-si[osi(r)3]n[r’]3-n所示的官能团为-si[osi(ch3)3]3。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的无规共聚物，其中，所述聚合性单体(a2)为具有碳原子数1～18的烷基和/或含聚氧亚烷基链的基团的聚合性单体。

7.根据权利要求1至6中...

【专利技术属性】
技术研发人员：屉本慎，田濑真幸，植野纯平，清水良平，铃木秀也，
申请(专利权)人：DIC株式会社，
类型：发明
国别省市：