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本发明描述一种低成本、稳健且高性能的微机电系统(MEMS)声学感测器。所述微机电系统声学感测器可以包括声学感测器膜中的一组蚀刻释放结构，其促进声学感测器膜的快速和/或均匀蚀刻释放。另外，微机电系统声学感测器可以包括声学感测器膜的一组膜位置控...
该专利属于因文森斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过因文森斯公司授权不得商用。

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