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本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种适用于半导体晶圆片的超声波清洗装置，包括箱体，所述箱体的内部固定连接有分隔座，通过所述分隔座将箱体内部分为清洗腔和回收腔；固定组件，所述固定组件设置于清洗腔内，用于固定待清洗晶圆；第一辅助机构，所述...
该专利属于恒超源洗净科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过恒超源洗净科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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