温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及半导体器件制造技术领域，特别涉及一种具有低损耗绝缘连接件的离子源，包括离子发生器和绝缘保护套，所述离子发生器的一端面开设有离子出口，所述离子发生器面向所述离子出口的端面凸设有绝缘套管，所述绝缘套管包绕于所述离子出口的外缘；所述绝缘...
该专利属于无锡诚承电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡诚承电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。