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本发明为一种薄膜厚度实时检测装置及检测方法,该薄膜厚度实时检测装置包括:内环和环设于内环外周的外环,内环与外环之间具有供薄膜穿过的环空,内环和外环的至少部分位置浸没于冷却水域中,以使薄膜在穿过环空中被冷却水域所冷却;多个传感器,多个传感器沿...该专利属于雷诺丽特朗活医药耗材(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过雷诺丽特朗活医药耗材(北京)有限公司授权不得商用。
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本发明为一种薄膜厚度实时检测装置及检测方法,该薄膜厚度实时检测装置包括:内环和环设于内环外周的外环,内环与外环之间具有供薄膜穿过的环空,内环和外环的至少部分位置浸没于冷却水域中,以使薄膜在穿过环空中被冷却水域所冷却;多个传感器,多个传感器沿...