【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及薄膜生产制作领域，尤其涉及一种薄膜厚度实时检测装置及检测方法。
技术介绍
1、薄膜在生产过程中，需要对生产出来的薄膜进行相应的厚度测量，以获得薄膜某个位置点的厚度或者对薄膜的整体厚度的均匀性进行检测。而目前的技术手段常通过游标卡尺(如电子游标卡尺)进行点对点的测量，而该种测量方式仅能对薄膜的某一点的厚度进行测量，如需要对薄膜的其他位置进行测量就必须对薄膜或者游标卡尺的位置进行调整，不仅测量过程繁琐，而且对于环形的薄膜无法在线同时测量其一周的厚度，既无法在线对于薄膜厚度的均匀性进行测量。而对于一些现有的测厚仪，费用高、结构复杂，而且需要在薄膜的生产过程中进行不停的测量，在生成薄膜的厚度图时，所采集的第一个数据与最后一个数据之间间隔时间较长，需要3-5分钟才能形成一幅厚度图，因此，存在测量时间长、实时性差的缺点。
2、针对相关技术中，对薄膜的厚度进行测量存在操作繁琐、耗时长、实时性差的问题，目前尚未给出有效的解决方案。
3、由此，本专利技术提出一种薄膜厚度实时检测装置及检测方法，以克服现有技术的缺陷。<
【技术保护点】
1.一种薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，所述薄膜厚度实时检测装置包括：
2.如权利要求1所述的薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，多个所述传感器在所述内环的外壁上沿其周向间隔且均匀排布，和/或，多个所述传感器在所述外环的内壁上沿其周向间隔且均匀排布。
3.如权利要求1或2所述的薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，所述传感器为超声波传感器，多个所述超声波传感器设置于所述内环1的下部外壁或所述外环的下部内壁上；
4.如权利要求1或2所述的薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，所述传感器为激光测距传感器，多个所述激光测距传感器设置于所述内环的上...
【技术特征摘要】
1.一种薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，所述薄膜厚度实时检测装置包括：
2.如权利要求1所述的薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，多个所述传感器在所述内环的外壁上沿其周向间隔且均匀排布，和/或，多个所述传感器在所述外环的内壁上沿其周向间隔且均匀排布。
3.如权利要求1或2所述的薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，所述传感器为超声波传感器，多个所述超声波传感器设置于所述内环1的下部外壁或所述外环的下部内壁上；
4.如权利要求1或2所述的薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，所述传感器为激光测距传感器，多个所述激光测距传感器设置于所述内环的上部外壁和所述外环的上部内壁上；
5.如权利要求1所述的薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，所述薄膜厚度实时检测装置还包括多个微型显示器，多个所述微型显示器与多个所述传感器一一对应，多个所述传感器的信号输出端与对应的所述微型显示器的信号接收端电连接。
6.如权利要求5所述的薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，多个所述微型显示器沿所述内环的周向设置于所述内环的顶部，或，多个所述微型显示器沿所述外环的周向设置于所述外环的顶部。
7.如权利要求5或6所述的薄膜厚度实时检测装置，其特征在于，所述薄膜厚度实时检测装置包括中央处理器和显示终端，所述中央处理器的信号接收端与多个所述微型显示器的信号输出端电...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡樊贵，
申请(专利权)人：雷诺丽特朗活医药耗材北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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