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文档序号:45383669

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本申请实施例涉及半导体制造技术领域,特别是涉及一种治具。治具包括安装座和多个承载盘。承载盘安装于安装座,各承载盘沿第一方向与第二方向阵列排布,承载盘设有顶面以及与顶面连接的侧面,顶面用于承载芯片,沿第一方向任意相邻的两个承载盘之间,上游的一...
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