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本申请涉及MEMS传感器技术领域，具体而言，涉及一种小型化MEMS压力传感器。小型化MEMS压力传感器，包括：基底，包括应变膜和沿所述应变膜便于设置并支撑所述应变膜的基座；压敏电阻，设置于所述应变膜；其中，所述应变膜和所述基座的内侧面的夹角...
该专利属于上海芯绒科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯绒科技有限公司授权不得商用。

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