下载晶体取料机械手的技术资料

文档序号:45367052

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本技术公开一种晶体取料机械手,包括第一取料模块,所述第一取料模块用于吸附立起姿态的晶体,所述第一取料模块具有第一驱动模组、第一取料座以及至少一个第一取料头,所述第一驱动模组可驱动第一取料座运动,所述第一取料头设于第一取料座上,所述第一取料头...
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