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本发明涉及红外晶体材料制备技术领域，具体提供了一种制备CVD ZnSe的原料气预处理系统及方法，该制备CVD ZnSe的原料气预处理系统包括依次连通的气体分级吸收过滤装置、循环缓冲装置和精密控制装置，以确保原料气进入CVD反应装置前有效过滤...
该专利属于山东有研国晶辉新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东有研国晶辉新材料有限公司授权不得商用。

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