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本发明涉及一种多室组件，用于搬运和储存可移除反应单元，以进行预防性维护操作，其中所述反应单元用于在衬底上外延沉积半导体膜的反应器中。本发明还涉及一种反应器组件，其集成用于在衬底上沉积半导体膜的外延反应器，以及上文所述的多室组件。...
该专利属于LPE公司所有，仅供学习研究参考，未经过LPE公司授权不得商用。

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