下载具有U型沟槽的碳化硅MOSFET元胞结构、器件及制备方法的技术资料

文档序号:45291232

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本发明提出了两种具有U型沟槽的碳化硅MOSFET元胞结构,均通过中部屏蔽区和顶部屏蔽区将沟槽栅极的侧壁完整包覆,一方面能提高MOSFET的导通能力和耐压性,另一方面能减少电场尖峰现象,降低栅氧层击穿风险;均跨越三区/层,这样有助于优化整个元...
该专利属于无锡芯动半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡芯动半导体科技有限公司授权不得商用。

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