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本技术公开了一种MOCVD加热器用组件，包括加热器本体和热传递组件，所述加热器本体包括壳体，所述壳体内安装有加热装置，所述加热装置上安装有石墨载盘，所述加热装置的底部设置有反射层，所述反射层的底部设置有保温层，所述保温层的底部抵接在壳体的底...
该专利属于立潮半导体科技（江苏无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过立潮半导体科技（江苏无锡）有限公司授权不得商用。

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