下载制造衍射光栅的方法的技术资料

文档序号:45244562

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本发明涉及一种制造衍射光栅的方法。该方法包括提供第一基板,并使用临时光栅材料在第一基板上制造第一表面轮廓。接下来,第一表面轮廓被最终光栅材料层完全覆盖,并且第二基板被接合到最终光栅材料上。最后,去除第一基板和临时光栅材料以用于在最终光栅材料...
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