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本发明提供了一种拉制重掺磷硅单晶后的排气方法，涉及单晶硅生产技术领域，该方法在开启上炉筒和下炉筒之间的隔离阀之前，通过对惰性气体流量以及用于平衡调节炉压的APC阀或手动阀的开度进行调节，使惰性气体置换单晶炉上炉筒内的空气；以及，在开启上炉筒...
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