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本发明提供一种用于微纳制造光学量测的温度补偿方法和装置，温度补偿方法用于对相机组件与支撑架之间的连接件的热变形进行补偿，连接件的材料为常温下具有因瓦效应的材料；相机组件的第一光轴与被检测物体的表面之间的交点为第一交点；温度补偿方法包括：测量...
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