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本发明提供一种氩离子束扫描电镜污染物捕获装置及方法，该污染物捕获装置包括样品处溅射捕获装置、物镜下挡板保护装置；其中，所述样品处溅射捕获装置采用可移动的半封闭多层结构，该结构由耐溅射金属材料制成，包括一个捕获罩和一个可拆卸的收集器,用于在离...
该专利属于屹东光学技术（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过屹东光学技术（苏州）有限公司授权不得商用。

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