下载一种自选择侧向生长的大尺寸金刚石(110)单晶及其制备方法的技术资料

文档序号:45191504

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本发明涉及一种自选择侧向生长的大尺寸金刚石(110)单晶及其制备方法,制备方法包括:选取X个金刚石衬底;在每个金刚石衬底的上表面生长(110)晶向的外延金刚石层,获得X个(110)单晶外延结构;X个(110)单晶外延结构均具有(100)晶向...
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