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本技术涉及材料检测装备领域，具体涉及一种适用于高纯电子级化学品采样的进样箱柜,包括箱柜本体、送风单元、排风单元、压差检测单元、排污单元和电控单元，所述的箱柜本体设有主箱仓和分置于左右两侧的二个次箱仓，次箱仓与主箱仓之间设有内门，次箱仓与外界...
该专利属于福建雅鑫电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建雅鑫电子材料有限公司授权不得商用。

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