【技术实现步骤摘要】
本技术涉及材料检测装备领域，具体涉及一种适用于高纯电子级化学品采样的进样箱柜。
技术介绍
1、高纯电子级化学品在半导体元器件的制作过程中应用非常广泛，由于半导体产品超高精密的属性要求，所直接使用的化学品的杂质含量将直接影响最终的产品质量。因此在整个半导体制程中需要定期对生产现场所使用的所有化学品进行采样后送到专业的实验室进行分析测试。化学品的采样需要在超高清洁度的进样箱柜里进行封闭操作，但无论是半自动或全自动采样操作，进样箱柜都需要设有可启闭的外门，以便于向箱柜内提供灌装化学品的采样器件和取出采样品。由于外门启闭时外部不洁的空气容易进入箱柜的操作仓内而影响操作仓内的空气清洁度，进而影响被采样的化学品的成分，最终影响检测结果的准确性。虽然目前通过延长操作仓内污染空气的置换时间来改善开门时被混入的不洁空气，但延长置换时间会影响采样效率，也会存在置换不完全带来的样品被污染的风险。鉴于此，有必要对高纯电子级化学品采样的进样箱柜进行改进，如何在不延长操作仓内置换污染空气的时间的情况下使操作仓始终保持高纯洁度，使在操作仓中采样的化学品不被污染来提高...
【技术保护点】
1.一种适用于高纯电子级化学品采样的进样箱柜，包括电控单元(6)，其特征在于：还包括箱柜本体(1)、送风单元(2)、排风单元(3)和压差检测单元(4)，所述的箱柜本体(1)设有主箱仓(12)和分置于主箱仓(12)两侧的左次箱仓(11)和右次箱仓(13)，所述的压差检测单元(4)为二组，二组压差检测单元(4)分置于主箱仓(12)与左次箱仓(11)之间和主箱仓(12)与右次箱仓(13)之间，压差检测单元(4)设有气压压差检测构件，其可检测相邻两个箱仓的气压差，所述的左次箱仓(11)和右次箱仓(13)与外界均设有可自动启闭的外门(14)且在外门(14)周侧设有风帘构件，所述...
【技术特征摘要】
1.一种适用于高纯电子级化学品采样的进样箱柜，包括电控单元(6)，其特征在于：还包括箱柜本体(1)、送风单元(2)、排风单元(3)和压差检测单元(4)，所述的箱柜本体(1)设有主箱仓(12)和分置于主箱仓(12)两侧的左次箱仓(11)和右次箱仓(13)，所述的压差检测单元(4)为二组，二组压差检测单元(4)分置于主箱仓(12)与左次箱仓(11)之间和主箱仓(12)与右次箱仓(13)之间，压差检测单元(4)设有气压压差检测构件，其可检测相邻两个箱仓的气压差，所述的左次箱仓(11)和右次箱仓(13)与外界均设有可自动启闭的外门(14)且在外门(14)周侧设有风帘构件，所述的送风单元(2)置于箱柜本体(1)的顶部且分别与左次箱仓(11)、主箱仓(12)和右次箱仓(13)连通，送风单元(2)设有送风构件且在与主箱仓(12)连通的管道上设有增压构件，送风单元(2)可对左次箱仓(11)、主箱仓(12)和右次箱仓(13)内分别输送高清洁度空气，送风单元(2)还可对输送到主箱仓(12)的空气增压使主箱仓(12)内的气压高于左次箱仓(11)和右次箱仓(13)内的气压，所述的排风单元(3)置于箱柜本体(1)的下部且分别与左次箱仓(11)、主箱仓(12)和右次箱仓(13)连通，排风单元(3)设有排风构件且可对左次箱仓(11)、主箱仓(12)和右次箱仓(13)内的气体进行抽排，所述的箱柜本体(1)、送风单元(2)、排风单元(3)和压差检测单元(4)均与电控单元(6)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种适用于高纯电子级化学品采样的进样箱柜，其特征在于：所述的送风单元(2)包括送风管(21)、送风口(22)、管道增压泵(23)、电动阀门(24)和过滤器(25)，所述的送风管(21)设有一个进风端和并列的三个出风端，所述的过滤器(25)连接在送风管(21)的进风端的管道上，所述的送风口(22)和电动阀门(24)均为三件，三件送风口(22)分别固接并连通在送风管(21)分设的三个出风端上，三件电动阀门(24)分别固接并连通在三件送风口(22)所对应的管道上，所述的管道增压泵(23)固接并连通在中间的送风口(22)所对应的管道上。
3.根据权利要求2所述的一种适用于高纯电子级化学品采样的进样箱柜，其特征在于：所述的过滤器(25)为可过滤出10级清洁度空气的过滤器，所述的管道增压泵(23)为气管道增压泵。
4.根据权利要求2所述的一种适用于高纯电子级化学品采样的进样箱柜，其特征在于：所述的排风单元(3)包括排风...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘琦，俞泽林，邱振明，
申请(专利权)人：福建雅鑫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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