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本发明涉及新型电声元件制造和微电子器件等技术领域，尤其涉及一种MEMS双晶片结构及其制备方法，MEMS压电麦克风。该MEMS双晶片结构包括：支撑结构，包括：外环体；形成于外环体内侧的背腔；复合振动层，自下而上包括：下压电层，形成于外环体和背...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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