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本发明公开了标记位置确定方法、光刻方法、制造物品的方法、存储器介质和光刻装置。确定标记位置的方法包括：基于通过使用捕获标记的图像的观测仪获取的图像上的标记图像的位置来确定标记图像的临时位置；基于指示观测仪的畸变量的二维分布的畸变图和标记图像...
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