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基于TGV技术的室温气体探测器结构及制作方法涉及气体传感技术领域，特别是一种基于TGV结构的气体探测器件。本发明提出了一种新型基于通孔结构的气体探测器，该探测器利用通孔内的薄膜作为气体传感层，实现传感功能表面的增大和结构的紧凑性，从而作为微...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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