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本发明涉及陶瓷基板技术领域,具体一种陶瓷基板坯体敷粉烧结工艺。包括以下步骤:步骤1:将氮化硼粉体、松油醇、乙基纤维素、邻苯二甲酸丁苄酯、磷酸酯搅拌均匀,研磨,得到敷粉;步骤2:使用丝网印刷技术将敷粉印刷在生胚表面,形成敷粉图案;得到敷粉生坯...该专利属于江苏富乐华半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏富乐华半导体科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及陶瓷基板技术领域,具体一种陶瓷基板坯体敷粉烧结工艺。包括以下步骤:步骤1:将氮化硼粉体、松油醇、乙基纤维素、邻苯二甲酸丁苄酯、磷酸酯搅拌均匀,研磨,得到敷粉;步骤2:使用丝网印刷技术将敷粉印刷在生胚表面,形成敷粉图案;得到敷粉生坯...