下载含氟树脂及浸没式光刻胶的技术资料

文档序号:45134480

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本申请实施例提供一种含氟树脂及浸没式光刻胶,涉及光刻胶领域。本申请实施例中,含氟树脂含有具有含氟侧基的第一重复单元,以及结构通式为的封端基团,其中Rf1选自氟、三氟甲基、全氟乙基、全氟丙基、六氟异丙基、全氟丁基中的至少一种,n为不小于1的正...
该专利属于湖北鼎龙芯盛科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北鼎龙芯盛科技有限公司授权不得商用。

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