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本发明涉及一种大尺寸钴酸锂陶瓷靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)混合粘结剂、分散剂、溶剂和钴酸锂，喷雾干燥，得到混合料；(2)将混合料装入模具，进行冷等静压，得到钴酸锂生坯；(3)将钴酸锂生坯进行脱脂后，再进行热等静压，得到...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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