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本发明属于半导体技术领域，公开了一种靶材循环系统的使用方法以及靶材循环系统。靶材循环系统的使用方法包括：S10：对靶材循环系统进行预氧化；S20：将靶材置于储存组件内，储存组件将靶材加热至液态；S30：由驱动装置驱动液态的靶材从储存组件进入...
该专利属于朗道科技（南京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗道科技（南京）有限公司授权不得商用。

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