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提供一种静电卡盘组件，其能够成倍地延长在真空腔室内使用时的耐用期间。该静电卡盘组件具备：作为静电卡盘的圆盘状的电极内置陶瓷板；圆盘状的冷却板，其支承电极内置陶瓷板的底面，具有环状或圆弧状的内部空间；环状或圆弧状的内部固定部件，其以能够相对于...
该专利属于日本碍子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

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