下载一种真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置的技术资料

文档序号:45095524

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本发明涉及冷阱技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置,包括箱体,还包括:冷凝组件,冷凝组件包括冷阱壳体、冷却罐、储液容器;冷阱壳体设置于箱体内,冷阱壳体的内部形成有容纳腔,冷阱壳体的上部设置有进气管,进气管的进气口与蒸汽入口连通...
该专利属于肇庆中达真空设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过肇庆中达真空设备有限公司授权不得商用。

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