一种真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及冷阱技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，包括箱体，还包括：冷凝组件，冷凝组件包括冷阱壳体、冷却罐、储液容器；冷阱壳体设置于箱体内，冷阱壳体的内部形成有容纳腔，冷阱壳体的上部设置有进气管，进气管的进气口与蒸汽入口连通；冷却罐安装于容纳腔的上部，其内部形成有冷却腔，冷却腔的上部通过导引管与进气管的下部出气口连通，冷却腔的下部形成排液口；冷却罐的外壁上设置有盘管式冷凝管；喷雾组件用于将冷却水雾化后喷雾于冷却腔内，使得雾化后的冷却水与蒸汽充分接触；储液容器用于承接冷凝液；水冷组件设置于箱体内并与盘管式冷凝管相连，用于提供冷却水。本发明专利技术实现了蒸汽的高效冷凝和回收。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及冷阱，具体为一种真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置。

技术介绍

1、真空镀膜机的油扩散泵的主要结构是由泵壳、泵芯、硅油、电炉组成。其原理是利用电炉在泵的底部加热至270℃使硅油沸腾，产生油蒸汽而向上喷射。经一、二、三极喷嘴喷出形成高速的喷射油膜。此时利用空气动力学的原理将空气分子吸附在油膜表面经三极压缩后由机械真空泵抽出，冷阱是安装在真空容器和真空泵之间的装置，通过对气体冷却，使得蒸汽凝结并被捕集，并且冷阱对于油扩散泵至关重要，可以捕捉有机物质和水气，防止其物质和水气进入油泵，降低油泵的使用寿命和真空度，对于油泵的使用较为重要。

2、相关技术中，油扩散泵在工作过程中会产生大量的蒸汽，其中含有有机物质和水汽，这些蒸汽若不及时处理，会对镀膜质量和设备性能产生不良影响。现有的冷阱装置在凝结这些油蒸气时，往往存在凝结效率低、凝结液收集不便等问题。

技术实现思路

1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的目的在于提供一种真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，其通过优化冷凝组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，包括一个具有可开启前端面的箱体，用于容纳和保护内部组件；箱体的顶部设置有蒸汽入口，箱体的侧壁设置有蒸汽出口；其特征在于，还包括：

2.如权利要求1所述的真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，其特征在于，所述盘管式冷凝管包括多个环管、多个竖直传输管，多个环管沿高度方向等间距分布于冷却罐的外壁上，任意相邻的两个环管之间通过多个竖直传输管连接，位于最上方的所述环管与所述水冷组件的出水端相连，位于最下方的所述环管与所述水冷组件的进水端相连。

3.如权利要求2所述的真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，其特征在于，所述喷雾组件为多组，它们沿高度方向等间...

【技术特征摘要】

1.一种真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，包括一个具有可开启前端面的箱体，用于容纳和保护内部组件；箱体的顶部设置有蒸汽入口，箱体的侧壁设置有蒸汽出口；其特征在于，还包括：

2.如权利要求1所述的真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，其特征在于，所述盘管式冷凝管包括多个环管、多个竖直传输管，多个环管沿高度方向等间距分布于冷却罐的外壁上，任意相邻的两个环管之间通过多个竖直传输管连接，位于最上方的所述环管与所述水冷组件的出水端相连，位于最下方的所述环管与所述水冷组件的进水端相连。

3.如权利要求2所述的真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，其特征在于，所述喷雾组件为多组，它们沿高度方向等间距分布于冷却腔内。

4.如权利要求3所述的真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，其特征在于，每组喷雾组件包括安装架、分流直管、第一分流圆环形管、第二分流圆环形管和多个雾化喷头；

5.如权利要求2所述的真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，其特征在于，所述冷凝组件还包括多层冷凝挡板，多层所述冷凝挡板层叠且可拆卸地安装在容纳腔内并位于所述排液口的正下方，每块冷凝挡板的表面均设置有多个贯通其上下表面的倾斜凹槽，多个冷凝挡板的倾斜凹槽从上往下一一对应连接形成多个曲线型通道。

6.如权利要求5所述的真空镀膜机的油扩散泵冷阱装置，其特征在于，所述冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭炳德，王富华，
申请(专利权)人：肇庆中达真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：