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本申请提供了一种氟化炉故障诊断方法及其系统，属于氟化炉故障诊断领域，在本实施例中，获取氟化炉的各个测点数据，并从测点数据中筛选出异常数据，通过将异常数据输入至因果关系模型中筛选出与异常数据相关联的故障类型，在确定氟化炉可能出现的故障类型后，...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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