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本发明公开了一种基于氧化镓晶片的位错识别系统及其识别方法，涉及图像处理技术领域，包括基于分析管理终端，控制电子显微镜对氧化镓晶片进行图像采集，获取待识别氧化镓晶片图像；对待识别氧化镓晶片图像进行分析处理，获取氧化镓晶片的位错相关数据。本发明...
该专利属于山东国镓晶谷半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东国镓晶谷半导体科技有限公司授权不得商用。

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