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本发明可以实现在低温区域的升温速度的提升。一种温度控制方法，具有：处理温度设定工序，控制反应管内的加热和对反应管内的冷却，使配置于反应管内的基板的温度成为预先设定的处理温度，其中，处理温度设定工序具有：升温工序，供给一定的电力，使配置于反应...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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