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本发明实施例提供了一种晶圆缺陷模式的识别方法及装置，该方法包括对待识别晶圆的晶圆图进行点云转换，获得所述待识别晶圆的原始点云集合；对所述原始点云集合中各点云进行归一化处理，获得归一化后的目标点云集合；根据所述目标点云集合，构建所述待识别晶圆...
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