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本技术提供一种晶圆吸附装置，包括承载台和多个环状柔性凸台，承载台具有晶圆承载面的一侧设有多个环状凹槽，多个环状凹槽由内而外依次间隔设置，以在晶圆承载面中划分出多个由内而外依次间隔设置的吸附区；多个环状柔性凸台一一对应的设于多个环状凹槽中。本...
该专利属于晶诺微（上海）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶诺微（上海）科技有限公司授权不得商用。

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