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本技术涉及一种多轴方向测量流量传感器芯片。本技术包括衬底；中心热源结构，设置于所述衬底且呈十字结构；分别设置于所述衬底的第一上游热电堆测温元件、第一下游热电堆测温元件、第二上游热电堆测温元件和第二下游热电堆测温元件；所述第一上游热电堆测温元...
该专利属于无锡芯感智科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯感智科技股份有限公司授权不得商用。

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