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本申请一种过滤组件、尾气处理装置及沉积设备，具体涉及半导体或光伏设备领域。该过滤组件包括：壳体，具有第一腔室和第二腔室，第一腔室的延伸方向与第二腔室的延伸方向交叉，第一腔室的第一端具有进气口，第一腔室的第二端具有出气口，第二腔室与第一腔室的...
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