专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
晶科能源股份有限公司
>
单晶硅棒的制作方法以及硅片技术
>技术资料下载
下载单晶硅棒的制作方法以及硅片的技术资料
文档序号:45080897
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请涉及单晶硅制造技术领域,提供一种单晶硅棒的制作方法以及硅片,至少有利于管控单晶硅棒的电阻率均匀性。方法包括:制备测试单晶硅棒,根据测试单晶硅棒模拟初始掺杂浓度模型,初始掺杂浓度模型表征为,在等径工序中,测试单晶硅棒中掺杂剂的浓度随时间...
该专利属于晶科能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶科能源股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。