下载单晶硅棒的制作方法以及硅片的技术资料

文档序号:45080897

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本申请涉及单晶硅制造技术领域,提供一种单晶硅棒的制作方法以及硅片,至少有利于管控单晶硅棒的电阻率均匀性。方法包括:制备测试单晶硅棒,根据测试单晶硅棒模拟初始掺杂浓度模型,初始掺杂浓度模型表征为,在等径工序中,测试单晶硅棒中掺杂剂的浓度随时间...
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