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发明涉及半导体清洗技术领域，具体是一种具有状态检测的半导体加工用片篮爪夹持设备，包括：壳体，壳体上安装有浸洗槽，且壳体上还安装有置物箱，置物箱内设有升降组件，升降组件能够驱使设置在置物箱上的外附箱相对壳体滑动,且在外附箱滑动时，设在壳体内并...
该专利属于江苏雷博微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏雷博微电子设备有限公司授权不得商用。

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