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本技术涉及一种热式流量传感器。包括衬底，其背面设置有阻挡层；支撑结构层；上游热电堆下层热电偶、下游热电堆下层热电偶和中心热源结构；第一绝缘层；上游热电堆上层热电偶和下游热电堆上层热电偶；上游热电堆下层热电偶和上游热电堆上层热电偶构成上游测温...
该专利属于无锡芯感智科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯感智科技股份有限公司授权不得商用。

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