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本技术涉及空气净化技术领域，且公开了一体化设备半导体生产用无尘车间空气净化设备，其包括风管，风管的顶部开设有通口，在风管内壁的底部且位于通口的正下方开设有定位槽，通口内活动插接有过滤部，过滤部的顶部与风管的顶部齐平，且过滤部的底部位于定位槽...
该专利属于深圳市友恩半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市友恩半导体有限公司授权不得商用。

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