【技术实现步骤摘要】
本技术属于空气净化,具体为一体化设备半导体生产用无尘车间空气净化设备。
技术介绍
1、无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,半导体的生产便会使用到无尘车间,而无尘车间所使用的空气净化设备需要配备用于通风的风管,在风管内需要设备过滤装置,通过过滤装置实现空气中灰尘的净化,但是过滤装置在长时间使用后,其表面会附着大量的灰尘,并且被过滤装置拦截的灰尘还会掉落到风管内,在取出过滤装置进行清洗的时候,并不能将掉落在风管内的灰尘清理出来,残留在风管内的灰尘会严重影响到空气的净化效果,为此本申请提出了一体化设备半导体生产用无尘车间空气净化设备。
技术实现思路
1、为解决上述
技术介绍
中提出的问题,本技术提供如下技术方案:一体化设备半导体生产用无尘车间空气净化设备,包括风管,风管的顶部开设有通口,在风管内壁的底部且位于通口的正下方开设有定位槽,通 ...
【技术保护点】
1.一体化设备半导体生产用无尘车间空气净化设备,包括风管(1),其特征在于:所述风管(1)的顶部开设有通口(2),在风管(1)内壁的底部且位于通口(2)的正下方开设有定位槽(3),所述通口(2)内活动插接有过滤部(4),过滤部(4)的顶部与风管(1)的顶部齐平,且过滤部(4)的底部位于定位槽(3)内,所述过滤部(4)的右侧开设有置物槽(5),在过滤部(4)的左侧开设有与置物槽(5)相连通的进风口(6),所述置物槽(5)内壁靠右的四个拐角处均固定安装有固定块(7),在四个固定块(7)的右侧均固定安装有螺杆(8),所述置物槽(5)右侧的开口处设置有过滤板(9),在过滤板(
...【技术特征摘要】
1.一体化设备半导体生产用无尘车间空气净化设备,包括风管(1),其特征在于:所述风管(1)的顶部开设有通口(2),在风管(1)内壁的底部且位于通口(2)的正下方开设有定位槽(3),所述通口(2)内活动插接有过滤部(4),过滤部(4)的顶部与风管(1)的顶部齐平,且过滤部(4)的底部位于定位槽(3)内,所述过滤部(4)的右侧开设有置物槽(5),在过滤部(4)的左侧开设有与置物槽(5)相连通的进风口(6),所述置物槽(5)内壁靠右的四个拐角处均固定安装有固定块(7),在四个固定块(7)的右侧均固定安装有螺杆(8),所述置物槽(5)右侧的开口处设置有过滤板(9),在过滤板(9)侧面的四个拐角处均开设有通孔(10),过滤板(9)侧面的四个通孔(10)分别套接在四个固定块(7)侧面的螺杆(8)上,在四个螺杆(8)上均螺纹套接有抵在过滤板(9)侧面的螺母(11),所述过滤板(9)侧面的中间处设置有高效过滤网。
2.根据权利要求1所述的一体化设备半导体生产用无尘车间空气净化设备,其特征在于:所述进风口(6)左端的开口设置为矩形,进风口(6)右端的开口设置为圆形,所述进风口(6)右端圆形开口的直径小于其左端矩形开口的边长。
3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:谈晓东,陈贻云,丁长胜,
申请(专利权)人:深圳市友恩半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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