下载一种半导体陶瓷板薄铜蚀刻液及其制备方法的技术资料

文档序号:45073690

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本发明公开了一种半导体陶瓷板薄铜蚀刻液及其制备方法,该蚀刻液由硫酸、过硫酸钠、改性氮杂环加速剂、表面活性剂和去离子水等原料组成,本发明在改性氮杂环加速剂与配比中其它原料的协同作用下,不咬蚀钛金属,只对铜金属形成蚀刻效果,蚀刻后的陶瓷基板线路...
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