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本技术公开了一种硅片转运装置，涉及到硅片加工设备技术领域，包括：安装座和多个吸盘，多个所述吸盘竖直且并列设置于安装座上；多个所述吸盘的同一侧设置有吸附气道；本技术使用时，通过吸盘一侧的吸附气道将硅片吸附在吸盘上，完成对硅片的吸附，进而完成对...
该专利属于无锡江松科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡江松科技股份有限公司授权不得商用。

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