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一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极制造技术
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下载一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极的技术资料
文档序号:45067939
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本技术涉及间接水冷磁控溅射阴极技术领域,且公开了一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极,包括支撑底板,支撑底板的顶端中间部分开设有放置槽,支撑底板的底端设有支撑杆,支撑底板的顶端设有装置主体,装置主体的内侧设有永磁体,永磁体的两侧均设有溅射...
该专利属于长沙元戎科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长沙元戎科技有限责任公司授权不得商用。
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