下载一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极的技术资料

文档序号:45067939

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及间接水冷磁控溅射阴极技术领域,且公开了一种提高水冷能力的间接水冷磁控溅射阴极,包括支撑底板,支撑底板的顶端中间部分开设有放置槽,支撑底板的底端设有支撑杆,支撑底板的顶端设有装置主体,装置主体的内侧设有永磁体,永磁体的两侧均设有溅射...
该专利属于长沙元戎科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长沙元戎科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。