下载分度台及减薄机的技术资料

文档序号:45065963

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本技术公开了一种分度台及减薄机,涉及半导体加工技术领域,所述分度台包括机架、转台、转轴以及减速电机,所述转台活动设置于所述机架上,所述转台用以承载待加工晶片;所述转轴穿设所述机架,并与所述机架转动连接,所述转轴的上端部与所述转台连接;所述减...
该专利属于江苏三芯精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏三芯精密机械有限公司授权不得商用。

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