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本申请涉及氧化铟锡膜技术领域，具体涉及一种氧化铟锡膜及其制备方法和应用，所述氧化铟锡膜的X射线衍射图像中包括(222)晶面、(400)晶面、(441)晶面和(622)晶面。本申请所述ITO膜的力学性能如硬度和弹性模量比较优异；所述ITO膜的...
该专利属于北京航空材料研究院股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空材料研究院股份有限公司授权不得商用。

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