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氮化物晶体衬底的制造方法和氮化物晶体衬底。稳定获得含有AlGaN的氮化物晶体衬底。氮化物晶体衬底的制造方法具备如下工序：(a)准备基底衬底；(b)在衬底的上方形成含有n型的III族氮化物晶体的中间层；(c)在中间层上形成具有低于中间层的载流...
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