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本发明提供一种三氯氢硅的合成方法、多晶硅的生产方法及生产装置，三氯氢硅的合成方法包括以下步骤：1）将四氯化硅和二氯二氢硅进行混合，得到混合物；其中，所述四氯化硅的温度大于所述二氯二氢硅的温度，所述四氯化硅的温度为50℃‑60℃；2）使所述混...
该专利属于青海丽豪清能股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青海丽豪清能股份有限公司授权不得商用。

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